薄膜太阳电池用濺镀靶材

AZO (氧化鋅鋁)、ZnO (氧化鋅)、GZO (氧化鎵鋅)平面靶材

AZO (氧化鋅鋁)、ZnO (氧化鋅)、GZO (氧化鎵鋅)圆柱靶材

• 透明导电掺铝 (AZO)与无掺铝 (ZnO) 靶材使用在于显示器、触控面板、太阳电池、OLED和其他薄膜产品领域。

产品规格

1. 化学指标

• 组成比例
  AZO 靶材: 标准比率为 98wt% ZnO + 2wt% Al2O3 (比率公差为±0.5wt%)
  ZnO靶材: >99.99wt% 氧化锌
  GZO靶材: 按照客户的要求组成比例会调整
• 纯度: >99.99%

2. 物理指标

• 密度: ANP 的 AZO&ZnO 靶材具有 99.5%以上的实际密度
  GZO 靶材具有 99%以上的实际高密度
• 外观: 平面或圆柱
• 大小: 根据客户制造需求不同大小和形状
• 靶材表面电阻率: 5x10-3 Ω/square



3. 产品特性


• 高透过率: >85%
• 不存或很低的物理特性跟随的时间依赖性
• 在蒸镀过程中产生无或小量分散颗粒
• 在蒸镀过程中很少发生裂纹


4. AZO (氧化鋅鋁) 的薄片电阻与厚度数据*





应用领域

• 薄膜太阳电池用透明导电膜